公開日:2026年08月17日

ねじ頭部の腐蝕を防止したい【プラズマ・処理ガス環境】

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ねじ頭部の腐蝕を防げるカバーキャップがあります

半導体製造装置では、真空チャンバー内でプラズマを発生させたり、処理ガスを注入する工程があります。このような環境では、処理ガスやプラズマによりボルト頭部が腐蝕することが課題となります。カバーキャップとカバーキャップ用ボルトを組み合わせて使用すると、ボルト頭部の腐蝕を防ぐことができます。ねじ締結部はステンレス製のため、アルミやセラミックのねじと比べて高い締付力で締結できます。

SCAP-CE SNCPS

SCAP-CE

 

 

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